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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1988.12
- 수록면
- 1,663 - 1,668 (6page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1988
Rapid와 Conventional Alloying 공정에 의한 GaAs Ohmic Contact의 특성 비교연구와 TLM의 새로운 해석 방법의 제안 ( Comparison Study on GaAs Ohmic Contacts Fabricated by Rapid and Conventional Alloying Process and New Analysis Method of TLM Patterns )
이진구
전자공학회논문지
1988.12
학술저널
GaAs 집적회로 공정개발을 위한 Rapid Alloying의 연구 ( A Study on Rapid Alloying for GaAs Integrated Circuits Process )
이진구
,
정철희
,
조승기
외 4명
대한전자공학회 학술대회
1988.01
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