Effect of $O_2$ or $NF_3$ plasma treatments on contaminated silicon surface due to $CHF_{3}/C_{2}F_{6}$ reactive ion etching

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Fabrication of Photonic Crystal Film

고건석 ,  박추진 ,  정운룡

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

Enhanced Cathode-Luminescence in a In_xGa_1-xN/In_yGa_1-yN Green Light Emitting Diode Structure Using Two-Dimensional Photonic Crystals

Eui Sub Choi ,  Jae Jin Lee

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .06

나노 광소자용 나노스탬프 제조공정 연구

정명영 ,  정은택 ,  김창석

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2005 .12

Plasma and Reactive Ion Etching

전영진

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

( 100 ) 면 InP 결정 습식 식각 특성 ( Wet Etching Properties of ( 100 ) Surface InP Crystal )

임우택 ,  김우진 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

나노 임프린트 공정에 의한 나노결정 광도파로 제조공정

정은택 ,  김창석 ,  정명영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

InP/InGaAsP 광자결정 구조 제작을 위한 건식 식각 특성

이지면

전기전자재료학회논문지

2004 .01

Photonic Crystal Laser

Yong-Hee Lee ,  In-Kag Hwang

한국통신학회 학술대회논문집

2004 .07

BCl 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각

조관식 ,  임완태 ,  백인규 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

2차원 광자결정 구조의 제조 방법

최영호 ,  김혜원 ,  이범석 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

Fabrication of 2D Composite Photonic Crystal Structure on Air-Water Interface

장명석 ,  이원목

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

Direct Wafer Bonding법에 의한 InP 기판과 $\textrm{Si}_3\textrm{N}_4$/InP의 접합특성

김선운 ,  신동석 ,  이정용 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon 의 Deep Groove Etching ( Deep Groove Etching of Silicon by Reactive Ion Etching )

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Reactive Ion Etching 방법에 의한 Silicon의 Deep Groove Etching

박성호 ,  전영진 ,  박신종

대한전자공학회 학술대회

1985 .06

InGaAsP/InP Photonic Parallel Memory

Doo Hwan Lee ,  Key Hwan Oh

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .01

InGaAsP/InP Photonic Parallel Memory

Doo-Hwan Lee ,  Key-Hwan Oh

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Conducting Polymers for the Control of Photonic Stop Bands Through Photonic Crystals

김순길 ,  조규진 ,  오응주

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

실리카 구를 이용한 3차원 광결정의 제작

설강희 ,  송석호 ,  김필수 외 2명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10