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Fabrication of Electrostatic Polysilicon Micro Actuator using HF Vapour Phase Etching Process
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots
대한전자공학회 학술대회
1988 .01
SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1988 .10
Nonlinearity를 갖는 Micro Electrostatic Actuator의 초정밀 추종제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
Polysilicon TFT의 파라미터 추출 ( Parameter Extraction for the Polysilicon Thin Film Transistors )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
상변화를 이용한 Micro-actuator에 대한 해석 ( Analysis on Phase-Change Based Micro-actuator )
대한기계학회 춘추학술대회
2000 .01
The Effects of Texture on the Young`s Modulus of Polysilicon
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Polysilicon Thin Film Transistors : 소자 기술 및 특성 ( Polysilicon Thin Film Transistors : Device Technology and Characteristics )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 열구동 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
마이크로 액츄에이터의 강도설계를 위한 파라미터 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
MODERN ELECTROSTATICS FOR HIGH-TECHNOLOGIES
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .11
마이크로 액추에이터의 실제 거동에 대한 FEA 시뮬레이션
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .01
P형 in-situ 도핑 폴리실리콘 막질에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
인텔리수트를 이용한 마이크로 미러 구동기의 디자인
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
3차원 유한요소법을 이용한 Micro positioning actuator의 설계 및 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .04
경소마그네시아 기반 폴리실리콘슬러지 치환율에 따른 경화체의 물리적 특성
한국건축시공학회 학술발표대회 논문집
2019 .01
The Effects of Image Charge in the Etching of Gate Polysilicon
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Modeling of Low Pressure Chemical Vapor Deposition of Polysilicon
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1995 .01
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