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Al/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(2)
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
AI/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(1)
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .07
미세비아 콘택 매립공정을 위한 저 비저항 TiN 접촉층 효과에 관한 연구 ( Effects of Low Resistivity TiN as A Wetting Layer on Submicro Via Contact Filling Process )
대한전자공학회 워크샵
1997 .01
Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2002 .01
TiN / TiSi2 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성 ( The electrical properties of TiN / TiSi2 bilayer formed by rapid thermal anneal at Submicron contact )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
급속열처리에 의한 TiN / TiSi2 이중구조막을 이용한 submicron contact 에서의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of TiN / TiSi2 Bilayer Formed by Rapid Thermal Anneal at Submicron Contact )
전자공학회논문지-A
1994 .09
SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1989 .01
TiN/TiSi2 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
Submicron에서의 소자 기술 동향
전자공학회지
1991 .09
Submicron 이미지 분석을 이용한 수화물 분석방법
콘크리트학회지
2019 .05
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
Ti / TiN 이층 BARRIER 구조를 갖는 0.5μm CONTACT의 P+ CONTACT 저항
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
rf 마그네트론 스퍼링에 의하여 증착된 TiN 박막의 물성에 대한 증착변수의 영향
화학공학
2008 .01
Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )
특정연구 결과 발표회 논문집
1989 .01
Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )
한국통신학회 학술대회논문집
1989 .01
Submicron MOS Devices
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1991 .01
Deep Submicron PMOSFET의 Scaling 방법 ( Scaling Methodology of Deep Submicron P-MOSFET )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
Deep submicron PMOSFET의 Scaling 방법
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
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