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Laser CVD에 의해 국소선택적으로 형성한 절연막의 형성특성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method
전기학회논문지
1993 .09
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구 ( A Study on Selective Area Deposition by Laser CVD Method )
대한전자공학회 학술대회
1992 .07
Laser CVD 법에 의한 절연막의 국소선택적 형성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
Laser CVD 법에 의한 평탄화 충간 절연막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
Laser CVD절연막의 전기전도와 절연파괴특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser CVD SiO₂막의 제특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Laser CVD에 의한 Ta₂O₅ 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
The Characteristics of Poly-Si Films Deposited by Laser CVD and Laser Etching
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
Laser CVD에 의한 SiON막의 형성과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
Laser CVD SiN막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성 ( Amorphous Silicom Film Formation by Laser CVD )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
Laser Cvd Silicon Nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation ( Simulation of Life Time Laser Cvd Sin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser CVD silicon nitride막의 수명시간 예측에 관한 Simulation
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Laser CVD SiO2 막의 절연파괴특성 ( Breakdown Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )
대한전자공학회 학술대회
1991 .07
Laser CVD SiO₂ 막의 절연파괴특성
대한전자공학회 학술대회
1991 .06
Laser CVD에 의한 SiO2막의 형성과 제특성 ( Formation and Properties of Silicon Dioxide Film by Laser-Chemical Vapor Deposition )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
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