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한국 반도체 산업의 현황과 클린룸 기술 전망
냉동공조기술
1997 .01
반도체 클린룸내 가스관리
공기청정기술
1993 .01
산업용 클린룸의 설계
냉동공조기술
1997 .01
반도체 클린룸의 설계 및 시공
설비공사
1992 .01
반도체공장 클린룸 구조에서의 미진동 연구
공기청정기술
1992 .01
클린룸에 있어서의 측정과 평가
설비공사
1992 .01
클린룸의 성능평가
공기청정기술
2005 .01
반도체 클린룸에서의 에너지절약 대책
공기청정기술
2005 .01
클린룸에서 에너지 절약을 위한 배기특성에 관한 연구 ( A Study on Characteristics of Exhaust Air for Energy Saving in Cleanroom )
대한건축학회 논문집 - 계획계
1998 .11
클린룸의 성능평가 기술
냉동공조기술
1997 .01
클린룸 에너지 절감 개선 사례 - 반도체 클린룸에서의 에너지 재활용/절감 사례
공기청정기술
2014 .01
반도체공장에 있어서의 슈퍼클린룸
냉동공조기술
1997 .01
클린룸 기술과 마이크로시스템 엔지니어링
공기청정기술
1998 .01
GIGA급 반도체 클린룸내 입자관리
공기청정기술
1999 .01
산업용 클린룸에 있어서 필터의 유지관리에 대하여
공기청정기술
1992 .01
클린룸의 자동제어
공기청정기술
1990 .01
`고집적 디바이스 반도체 제조용 클린룸의 유지 및 안전관리`
공기청정기술
1992 .01
클린룸의 환경유지 관리 및 에너지 소비특성에 관한 조사연구 ( The Characteristics of Energy Consumption and Environmental Maintenance in Cleanroom )
대한건축학회 논문집
1993 .04
클린룸 시공 기술
설비저널
2017 .05
클린룸의 건축계획
공기청정기술
1989 .01
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