자기베어링의 실시간 정밀제어를 위한 원통형 정전용량 변위센서의 새로운 설계 ( New Design of Cylindrical Capacitive Senosor for On-line Precision Control of AMB Spindles )

전수; 안형준; 한동철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 전수 안형준 한동철

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 춘추학술대회 2000년 제2권 제1호

발행연도: 2000.1

수록면: 548 - 553 (6page)

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