불소기를 함유한 폴리이미드을 사용한 광도파로 식각 ( Fluorinated 6FDA / PFMB Polyimide Etching Process for Optical Waveguide Fabrication )

김은지; 김정희; 김창원; 한관수; 장우혁; 이태형

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저자정보: 김은지 김정희 김창원 한관수 장우혁 이태형

저널정보: 한국통신학회 한국통신학회 기타 간행물 Photonics Conference(1997)

발행연도: 1997.1

수록면: 92 - 93 (2page)

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1997

불소기를 함유한 폴리이미드를 사용한 광도파로 식각 ( Fluorinated 6FDA / PFMB Polyimide Etching Process for Optical Waveguide Fabrication )

김은지 , 김정희 , 김창원 외 3명 대한전자공학회 기타 간행물 1997.01 연구보고서

불소기를 함유한 폴리이미드을 사용한 광도파로 식각 ( Fluorinated 6FDA / PFMB Polyimide Etching Process for Optical Waveguide Fabrication )

김은지 , 김정희 , 김창원 외 3명 한국통신학회 기타 간행물 1997.01 학술대회자료

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