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목 차[그림 차례] i[표 차례] ii[수식 차례] iii[기호 설명] iv제 1 장 서 론 1제 2 장 연구 배경 22.1 개요 22.2 필요성 72.3 선행 연구 현황 12제 3 장 시스템 설계 및 제어 방법 163.1 시스템 설계 163.1.1 형상설계 163.1.2 마이크로 드릴비트 공급/배출용 컨베이어 및 피더 설계 203.1.3 Transfer Robot 및 Robot Hand 연구(Twin Type) 243.1.4 워터젯 유닛 연구(Cleaning & Dry) 293.2 제어시스템 설계 363.2.1 세척 시스템 제어 메커니즘 363.2.2 PC 및 전기제어 시스템 383.2.3 시스템 구축 및 테스트 41제 4 장 해석 및 분석 434.1 시스템 구조해석 434.2 시뮬레이션 분석 524.3 Feeder 이송 Unit 동역학 해석 664.4 노즐부 유동해석 724.5 반복 정밀도 분석 82제 5 장 세척 성능 시험 945.1 세척 성능 시험 및 분석 945.2 세척시스템 가공조건별 시험 결과 105제 6 장 결 론 106[참고 문헌] 108
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