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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 김국원
- 발행연도
- 2018
- 저작권
- 순천향대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수2
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2018
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최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비 진공 환경에서 공정을 통하여 설비비용의 저감과 생산 공정의 고속화를 달성할 수 있다. 그러나 이 경우 비 진공 환경에서 발생하는 기포결함의 문제를 해결하야만 한다. 본 논문에서는 비 진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정에서 몰드 중공부 단면의 형상과 기포결함 발생 관계를 연구하였다. 일반적으로 많이 사용되는 사각형 단면과 타원형 단면 그리고 삼각형 단면에 대하여 2차원 유동해석 및 VOF 방법을 통하여 기포결함을 시뮬레이션 하였고 단면의 형상과 다양한 접촉각에 따른 유동선단의 특성을 분석하였다. 해석결과 몰드 중공부 형상은 기포결함 발생에 매우 중요한 영향을 미치며, 고려된 형상 모두 몰드와의 접촉각이 작을수록, 기판과의 접촉각이 클수록 기포결함 발생 가능성이 작아짐을 알 수 있었다. 또한 타원형 형상이 기포결함 발생 방지 측면에서 가장 효과적임을 확인하였다.
목차
목차 ⅰ그림 목차 ⅳ표 목차 ⅴ초록 ⅵ제 1 장 서론 11. 1 연구 배경 11. 2 연구 목적 2제 2 장 본론 32. 1 UV NIL의 개요 32.1.1 UV NIL의 배경 32.1.2 UV NIL의 종류 42. 2 수치해석 모델 62.2.1 해석의 지배방정식 62.2.2 몰드 형상 72.3.3 수치해석 경계조건 8제 3 장 해석결과 93. 1 해석결과 93.1.1 사각 단면(CASE 1) 해석결과 93.1.2 원형 단면(CASE 2) 해석결과 123.1.3 삼각 단면(CASE 3) 해석결과 153. 2 추가 해석결과 183.2.1 원형 단면(CASE 2) 해석결과 183.1.1 사각 단면(CASE 3) 해석결과 193. 3 유 동 선 단 213.3.1 사각 단면(CASE 1)의 유동선단 213.3.2 사각 단면(CASE 1)의 유동선단 233.3.3 사각 단면(CASE 1)의 유동선단 25참고문헌 28SUBSTRACT 30
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