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이용수3
목 차그 림 목 차 4표 목 차 6영 문 요 약 7제 1 장 서론 9제 2 장 이론적 배경 132.1 반도체 메모리의 과거, 현재 기술 132.2 차세대 메모리의 발전 배경 및 종류 212.3 ReRAM 소자의 배경 232.4 ReRAM 소자의 구조 242.5 ReRAM 소자 스위칭 특성 262.5.1 Unipolar 스위칭 특성 262.5.2 Bipolar 스위칭 특성 282.6 ReRAM 소자 메커니즘 302.6.1 Filament Model 302.6.2 ReRAM 스위칭 특성의 전극과 절연층 물질 322.6.3 전극과 절연층 물질 선택 시 고려사항 342.7 산화 그래핀 절연층의 장점 372.7.1 높은 ON/OFF Ratio 372.7.2 낮은 전압에서 스위칭 특성 관찰 392.7.3 낮은 가격 및 간단한 제작 과정 422.8 Polymer와 산화 그래핀의 합성 절연층 물질 442.8.1 Polymer 물질 특성 및 선정 442.8.2 Ethanol의 접촉각 감소 46제 3 장 산화 그래핀과 PVA의 혼합 절연층 기반 ReRAM 소자 제작 483.1 산화 그래핀(GO)과 Polyvinyl Alcohol (PVA) 혼합 용액 제작 483.2 GO-PVA 단층 절연막 ReRAM 소자 제작 방법 503.3 PVA/GO-PVA/PVA 다층 절연막 ReRAM 소자 제작 공정 523.4 PVA/GO-PVA/PVA 다층 절연층 ReRAM 소자 분석 방법 543.4.1 Alpha step을 이용한 두께 측정 방법 543.4.2 XRD를 이용한 결정성 측정 방법 553.5 PVA/GO-PVA/PVA 다층 절연막 및 단층 절연막 ReRAM 소자 스위칭 특성 측정 방법 57제 4 장 Ti/Au/PVA/GO?PVA/PVA/Au ReRAM 소자 분석 604.1 절연층의 두께 측정 결과 604.2 결정성 측정 결과 654.3 Ti/Au/PVA/GO?PVA/PVA/Au ReRAM 소자의이론적 모델링 674.4 ReRAM 소자의 I-V 특성 결과 734.4.1 GO-PVA 절연층 ReRAM 소자의 I-V 스위칭 특성 734.4.2 PVA/G.O-PVA/PVA 다층 절연층 ReRAM 소자의 I-V 스위칭 특성 754.4 Ti/Au/PVA/G.O-PVA/PVA/Au 다층 절연층의 ReRAM 소자의 Endurance 특성 결과 794.5 Ti/Au/PVA/G.O-PVA/PVA/Au 다층 절연층의 ReRAM 소자의 Retention 특성 결과 824.6 Ti/Au/PVA/G.O-PVA/PVA/Au 다층 절연층의 ReRAM 소자의 cumulative probability 특성 결과 844.7 다른 폴리머 절연층 기반의 ReRAM과의 비교 분석 88제 5 장 결론 90참고문헌 93
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