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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박상민 (공주대학교) 홍사용 (공주대학교) 정재욱 (한국환경공단)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제70권 제5호
발행연도
2020.5
수록면
510 - 514 (5page)

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주사전자현미경 진공 챔버 내의 시료로 부터 음극선루미네선스를 측정하기 위해 광섬유를 적용하여 피드스루 (feedthrough) 를 제시하였다. 음극선루미네선스의 원자외선-가시광선-적외선 (190 nm – 1250nm) 스펙트럼 측정이 가능하도록 석영유리 재질의 렌즈와 광섬유 광학계를 구성하였다. 제작된 피드스루로 GaN의 350 nm, AlGaN의 260 nm에 대해 각 에너지 밴드 전이 피크를 확인하였다. 그리고 측정 시료 내의 흡수 전류와 음극선루미네선스의 세기는 전자빔의 가속 전압에 따라 선형적으로 증가하였다.
#피드스루 #음극선루미네선스 #루미네선스 #스펙트로메타 #주사전자현미경 #Feedthrough #Cathodoluminescence #Luminescence #Spectrometer #SEM

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 실험 결과 및 토의
IV. 결론
REFERENCES

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