물리화학적 플라즈마 어닐링을 통한 표면 하부영역으로의 도펀트 주 입을 수반하는 격자이완 및 산소공극 제거작용이 적용된 유전체

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저자정보: 이규하 (포항공과대학교) 한건구 (서울과학기술대학교) 김형준 (포항공과대학교) 이상원 (포항공과대학교) 오정민 (포항공과대학교) 안지환 (포항공과대학교)

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#플라즈마 어닐링 #격자이완(Lattice relaxation) #산소공극 제거(Oxygen vacancy annihilation)

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