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자료유형
학술저널
저자정보
우성현 (성균관대학교) 정지훈 (성균관대학교) 이정헌 (성균관대학교) 김형준 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제34권 제4호
발행연도
2024.8
수록면
131 - 138 (8page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2024.34.4.131

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본 연구에서는 소결된 알루미나 기판에 코팅된 35Bi₂O₃-15Al₂O₃-50SiO₂ (BiAlSiO) and 35Bi₂O₃-7.5Al₂O₃-50SiO₂-7.5AlF₃ (BiAlSiOF) 유리층의 미세구조와 플라즈마 저항 특성이 소결 조건에 따라 어떻게 변화하는지를 조사하였다. 코팅된 층은 바 코팅 (bar Coating) 방법을 사용하여 형성되었으며, 이후 탈지 공정을 거쳐 반구 형성 온도 전/후인 700~900°C 범위의 온도에서 소결 되었다 . 내플라즈마성은 석영유리보다 두개의 코팅 유리가 약 2~3배 더 높았으며, F를 첨가한 BiAlSiOF는 BiAlSiO보다 높은 내플라즈성을 나타냈다. 이는 불소 첨가 효과로 판단된다. 소결 온도가 700°C에서 800°C로 증가함에 따라 두 유리 모두 내플라즈마성이 향상되었으나, 900°C까지 소결 온도를 증가시키면 내플라즈마성은 다시 감소한다 (즉, 식각률이 높아진다). 이러한 현상은 두 유리의 결정화 거동과 관련 깊은 것으로 판단된다. 소결 조건에 따른 내플라즈마성의 변화는 Al과 Bi-rich 상의 출현여부에 관련된 것으로 생각된다.
#Plasma dry etching #Etching rate #Plasma resistance glass #Bismuth aluminosilicate glass

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