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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
정운조 (조선이공대학교 정보통신학과) 안호근 (순천대학교)
저널정보
한국환경기술학회 한국환경기술학회지 한국환경기술학회지 제17권 제5호
발행연도
2016.1
수록면
475 - 481 (7page)

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방전플라즈마 소결공정을 이용하여 rf sputtering 등의 진공증착장비에 사용하기 위한 HA 타겟용 소결체를 소결온도 변화에 따라 제조하였다. 이때 소결된 소결체 HA의 상대밀도는 소결온도가 증가할수록 증가하였고 1,200℃에서 소결된 소결체의 상대밀도는 약 97%로 측정되었다. 소결온도가 증가할수록 결정립 크기 또한 증가하였으며, 소결온도 1,200℃에서 소결된 소결체의 결정립 크기는 약 13.2 ㎛ 크기였으며, 경도 및 파괴인성은 253±0.5 kg/mm2 와 0.48±0.02 MPa‧m1/2로 측정되었다.

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