Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography

Yeo Kyung Kang ,  김명길

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04

건식 플라즈마 디스미어 공정 개발

송신애 ,  김기영 ,  임성남 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .04

시대의 변화에 따른 건식난방시스템 적용의 필요성

이재인 ,  정구영

설비저널

2023 .01

이차전지용 건식 음극 공정 연구 개발 동향

송민주 ,  송우진

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2024 .09

High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography

윤세현 ,  안지훈 ,  이창현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

유리생산공정 폐주석산화물에서 건식제련에 의한 주석회수기술

이상로 ,  김상열 ,  이만승 외 1명

자원리싸이클링

2015 .01

첨가제로써 다양한 금속산화물을 사용한 K₂CO₃ 기반 CO₂ 건식흡수제의 특성연구

조민선 ,  이수출 ,  채호진 외 7명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2015 .06

EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사

김무영 ,  문정환 ,  최준명 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High T_g under EUV Radiation

우지훈 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2021 .04

산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구

박호현 ,  김태겸 ,  이형우 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .08

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

지금 여기 - 사용후핵연료의 재활용을 위한 파이로 건식 처리 기술

안도희

원자력산업

2015 .01

Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations

박주혜 ,  이성규 ,  Yannick Veste 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

마이크로 웨이브 플라즈마를 이용한 CO₂ 건식개질의 공정최적화방안

김진호 ,  류재홍 ,  김효식 외 2명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2015 .11

중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구

장원준 ,  김희주 ,  홍종우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현 ,  안지훈 ,  허수미

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤 ,  김정환 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

대기 중 가스상 산화 수은의 건식침적량 특성

김평래 ,  한영지

대한환경공학회 학술발표논문집

2017 .11

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

연료전지용 건식 K계 CO₂ 흡수제 설계

인수영 ,  홍서혜 ,  이예지 외 2명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2023 .05