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화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
반도체 산업용 부품의 전기화학 표면 연마 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
화학적 기계적 연마에서 슬러리 유동의 해석을 위한 CFD 프로세스 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
전해연마 구동에 관한 고찰
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .12
구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
튜브 전해연마의 최적 가공 용액 특성 분석
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
전기화학기계적 연마용 슬러리의 전기화학적 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
임플란트 타이타늄의 전기화학 표면처리 전해액 재생 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
전해연마의 동적해석을 통한 공작물 회전에 따른 표면조도 개선에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
전해질 종류에 따른 정전압 전기화학폴리싱 표면의 국부적 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
머신러닝 기법을 이용한 연마품질 예측에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
패드 표면의 마이크로패턴 형상에 따른 화학적기계연마 재료제거율
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
임플란트 타이타늄의 전기화학 표면처리 전해액 재생 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
고속자기연마장치를 이용한 BK7 유리 바의 초정밀 가공
한국자동차공학회 지회 학술대회 논문집
2020 .07
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
리테이너 링의 형상이 연마율에 미치는 영향도 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2020 .11
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