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김영훈 (삼성전기) 최상환 (삼성전기) 천세경 (삼성전기) 이지원 (삼성전기) 조두현 (삼성전기) 김명운 (삼성전기)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.41 No.6
발행연도
2024.6
수록면
423 - 428 (6page)
DOI
10.7736/JKSPE.024.005

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PCBs (Printed circuit boards) have been widely used in electronic products such as wearables, smartphones, and table computers. Recent trends of miniaturizing electric components require improvement of component density and electronic functionality by decreasing the size of micro via holes (50-110 μm), which interconnect electric signals between adjacent layers in high density interconnection (HDI) PCBs. To generate micro via holes, we studied CO₂ laser drilling with the help of pulse shape controlling using acousto-optic modulator (AOM). Pulse shape controlling is one of the key factors to reduce heat effect during the laser drilling process. To increase laser absorption, the substrate was subjected to black oxidation prior to CO₂ laser drilling. We designed a diffractive optical system using a circular aperture. Micro via holes were obtained by optimizing the optical distance. The laser drilled via hole was studied both experimentally and theoretically.
#High density interconnection (고밀도 배선기판) #Via hole (비아 홀) #Laser drilling (레이저 드릴링) #Black oxidation (흑화 처리)

목차

1. 서론
2. 시편 및 실험 장치
3. 레이저 Drilling 실험 검증
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Michigami, N., Yamaga, M., Kawamura, M., Kuze, O., Nakamura, S., (2011), High-performance printed circuit board production equipment for ultra-high density multi-layer wiring, Hitachi Review, 60(5), 216-221. google schola Meier, D. J., Schmidt, S. H., (2002), PCB laser technology for rigid and flex HDI-via formation, structuring, routing, Proceedings of the IPC Printed Circuits Expo, 2002. google schola Rahim, K., Mian, A., (2017), A review on laser processing in electronic and mems packaging, Journal of Electronic Packaging, 139(3), 1-11. google schola Zhang, C., (2008), Thermal modeling and laser beam shaping for microvias drilling in high density packaging, Ph.D. Thesis, University of Central Florida. google schola Obata, K., Hirogaki, T., Aoyama, E., Ogawa, K., (2012), Cu-direct laser drilling of blind via-hole in multi-layer PWBs: process visualization using high-speed camera images, Key Engineering Materials, 516, 30-35. google schola

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