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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.4
- 수록면
- 220 - 226 (7page)
- DOI
- 10.5762/KAIS.2024.25.4.220
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압력과 열의 부하가 공존하는 공간에 회전체가 구동하게 될 때 급격한 압력과 열의 변화가 회전체의 내구성을 감소시킨다. 이로 인해 조건에 맞는 회전체의 재질 선정과 안정성을 위해 Water jacket의 냉각 기능은 필수이다. 반도체 세부공정 중, 리플로우 큐어링에서는 세부 상온과 고온의 급격한 교차가 이루어지는 시스템이다. 따라서, 이에 필요한 가열설비에서도 회전 구성체에 급격한 냉각과 가열이 불가피하다. 기존에는 회전체 주변의 냉각수를 투입하여 순환하는 방식으로 회전체의 열화를 방지하는 냉각 기능이었다면, 본 논문에서는 냉각 기능 외에 냉각수 수온에 따른 회전체 속도를 실시간 제어하는 방식을 적용하였다. 급격한 외부 온도변화 정도에 따른 회전체 수온 제어 방식은 2가지 입력접점을 통한 15 °C 감소와 함께 3 °C 범위 안에서의 유지를 가혹 조건에서 나타낸다. 이를 통해 회전체 구성품의 내구성 향상을 예측하고, 본 논문에서 제안하는 방식에 대한 실험 및 유효성을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 가혹 조건의 구조 및 수학적 모델링
3. 수온 제어 특징 및 병렬 제어
4. 회전체 적용 및 실험
5. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
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