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문수현 (한국해양대학교) 박선우 (한국해양대학교) 김경화 (한국해양대학교) 전인준 (대구경북과학기술원) 안형수 (한국해양대학교) 양민 (한국해양대학교) 전영태 (한국해양대학교) 이삼녕 (한국해양대학교) 이재학 (한국해양대학교) 조채용 (부산대학교) 장연숙 (동의대학교) 이원재 (동의대학교) 신명철 (광운대학교) 구상모 (광운대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제74권 제1호
발행연도
2024.1
수록면
17 - 24 (8page)

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육방정계 (hexagonal) Si-AlN 코어-쉘 (core-shell) 마이크로 결정을 혼합소스 수소화물기상법에 의해 성장하였다. 특히 육방정계 Si-AlN 코어-쉘 마이크로 결정은 Al 기반 나노구조 (Al-based nanostructure)를 기반으로 성장되는 것을 발견하였다. 육방정계 Si은 준 직접 밴드갭 (quasi-direct bandgap) 에너지를 가지며 AlN 또한 육각형 우르자이트 (wurtzite) 구조를 가지므로 전력반도체 혹은 광전소자에 대한 새로운 기회를 열 수 있다. 본 논문에서 성장된 육방정계 Si-AlN 코어-쉘 마이크로 결정은 주사전자현미경(FE-SEM), EDS, 및 HRTEM을 사용하여 그 특성을 확인하였으며 성장 메커니즘을 제시한다. 따라서 육방정계 Si-AlN 코어-쉘 마이크로 결정은 반도체 성장 방법의 새로운 예가 될 것으로 기대한다.
#Al-based nanostructure #hexagonal Si #core-shell #mixed-source HVPE #TEM #Al 기반 나노구조 #육방정계 실리콘 #코어-쉘 #혼합소스 수소화물기상법 #투과전자현미경

목차

I. 서론
II. 실험 방법
III. 실험 결과 및 논의
IV. 결론
REFERENCES

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