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이용훈 (경북대학교) 이황규 (경북대학교) 김동민 (한국생산기술연구원) 김태욱 (경북대학교) 김지수 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.40 No.12
발행연도
2023.12
수록면
965 - 973 (9page)
DOI
10.7736/JKSPE.023.084

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This study investigated the Laser-Induced Plasma Backward Deposition (LIPBD) process for transparent glass-copper composite film production. LIPBD was compared with Laser-Induced Backward Transfer (LIBT). Controlling laser parameters and the z-axis position of Depth of focus (DOF) resulted in various post-deposition outcomes. The optimal deposition depth was 10 μm to 90 μm, ensuring good glass-copper adhesion. Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive spectroscopy (EDS) mapping confirmed copper and copper oxide (CuO) particles. X-ray diffraction confirmed Cu and CuO peaks. The adhesive test showed a strong binding between glass and deposition, but the parts of the cracks caused by heat accumulation were delaminated during the test. LIPBD offers controlled deposition potential for glass-copper composites. Optimizing laser parameters leads to high-quality films. This study provides valuable insights into nanotechnology and the semiconductor industry, with potential applications across diverse fields.
#Laser induced deposition (레이저 기반 증착 공정) #Mask-less copper pattern (마스크 없는 구리 패턴) #Laser induced plasma backward deposition (레이저 기반 플라스마 유도 역방향 증착)

목차

1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

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Del Rio, D. D. F., Sovacool, B. K., Foley, A. M., Griffiths, S., Bazilian, M., Kim, J., Rooney, D., (2022), Decarbonizing the glass industry: A critical and systematic review of developments, sociotechnical systems and policy options, Renewable and Sustai google schola Mehta, N., (2006), Applications of chalcogenide glasses in electronics and optoelectronics: A review. https://nopr.niscpr.res.in/handle/123456789/4967 google schola Liu, H., Lin, W., Hong, M., (2021), Hybrid laser precision engineering of transparent hard materials: Challenges, solutions and applications, Light: Science & Applications, 10(1), 162. google schola Esashi, M., Ono, T., (2005), From MEMS to nanomachine, Journal of Physics D: Applied Physics, 38(13), R223. google schola Liu, S., Shen, B., Hao, H., Zhai, J., (2019), Glass–ceramic dielectric materials with high energy density and ultra-fast discharge speed for high power energy storage applications, Journal of Materials Chemistry C, 7(48), 15118-15135. google schola

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