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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.3
- 수록면
- 218 - 228 (11page)
- DOI
- https://doi.org/10.1007/s13391-022-00390-4
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We used kinetic Monte Carlo (kMC) simulations to investigate the development over time of a non-classical crystallizationsystem featuring many charged nanoparticles (CNPs) in the gas phase; we studied the abnormal growth of deposited silicon(Si) particles during chemical Si vapor deposition. We identified three parameters associated with abnormal growth ofdeposited CNPs. The kMC results revealed that abnormal, deposited CNP growth was accentuated when the CNP charge inthe gas phase was balanced. In addition, a high CNP density (an elevated particle volume fraction) in the gas phase favoredabnormal growth of deposited CNPs, as did a faster gas flow velocity, even when the charge signs of CNPs in the gas phasewere not balanced.
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