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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.6
- 수록면
- 110 - 115 (6page)
- DOI
- 10.6111/JKCGCT.2023.33.3.110
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브로민화 수은 (I)(Hg₂Br₂) 물리적 증착법 공정에서 구성요소 B의 분압 , PB를 40 Torr에서 200 Torr로 증가시켰을때 1개의 셀(unicell)이 결정성장영역에서 기체상 공간의 중심으로 이동함을 보여주고 있다. PB =40 Torr에서는 경계층 흐름이 지배적이고, PB =200 Torr에서는 코어영역흐름 (core region)을 보이고 있다. 고려되는 물리적 증착법 공정에서 PB =40 Torr와 PB =200Torr에서 1개(single)의 셀(cell) 형태로 3차원의 유동의 흐름과 x, y 직교 중심축에 대하여 비대칭 유동흐름을 나타내고 있다. 소스와 결정 영역 사이의 임계 온도차는 약 30K입니다. Hg₂Br₂의 총 몰 플럭스는 임계값에 도달할 때까지 온도차에 따라 증가한다. 임계 총 몰 플럭스에서 총 몰 플럭스는 갑자기 감소한다.
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