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자료유형
학술저널
저자정보
이규빈 (한서대학교) 강승민 (한서대학교) 최재호 (한양대학교 신소재공학과) 변영민 (한양대학교) 김형준 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제33권 제3호
발행연도
2023.6
수록면
91 - 96 (6page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2023.33.3.091

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석영유리 도가니 (QC)의 사용 중 기포 품질을 검증하기 위하여 적절한 가속 시험 방법을 제안하였다. 실제 Czochralski(Cz) 공정에서 얻어진 폐기물 도가니의 기포 상태를 분석하고 QC 시험편을 이용하여 온도, 압력, 시간을 변화시켜 최적의 열처리 조건을 제시하였다. Cz 공정에서 생성되는 유사한 기포 크기와 밀도로 제어하기 위해서는 1450°C, 0.4 Torr 및 40 시간의 열처리 조건이 적절하였다 . 특히 Cz 공정에서 적용하는 압력인 10~20 Torr보다 상대적으로 낮은 압력인 0.4 Torr를 선택함으로써 기포 형성 가속시험의 시간을 단축시킬 수 있었다. 열처리 온도를 1550°C 높일 경우, Ostwald ripening 현상으로 인하여 기포가 커지고 밀도가 급격히 낮아지며, 결정화 발생으로 적절한 가속시험 조건은 아닌 것으로 판단하였다 .
#- #Quartz glass crucible #Bubble #Silicon ingot #Czochralski process #Accelerated test

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