Multi-channel nanosheet FET의 gate stack 내부 work function variation 분석 연구

신의관; 신창환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신의관 (고려대학교) 신창환 (고려대학교)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2023년도 대한전자공학회 하계학술대회 논문집

발행연도: 2023.6

수록면: 641 - 643 (3page)

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