Deposition of High-performance Graphene-dielectric Interface through UV-assisted Atomic Layer Deposition

G. Park; J. W. Shin; D. Go; J. An

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: G. Park (서울과학기술대학교) J. W. Shin (에너지환경연구소) D. Go (University of California San Diego) J. An (POSTECH)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2023년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2023.5

수록면: 119 - 119 (1page)

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