알루미늄 기반 Oxide/Metal/Oxide 구조의투명전극 적용성 기초 연구

김대균; 최두호

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.481

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저자정보: 김대균 (동의대학교) 최두호 (동의대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제31권 제7호

발행연도: 2018.11

수록면: 481 - 485 (5page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.7.481

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In this study, oxide/metal/oxide-type transparent electrodes based on Al and ZnO were investigated. Thin filmsof these materials were sputter-deposited at room temperature. To evaluate the thickness dependence of the oxide layers,the top and bottom ZnO layers were varied in the range of 5~80 nm and 2.5~20 nm, respectively. When the thicknessesof the top and bottom ZnO layers were fixed at 30 nm and 2.5 nm, a maximum transmitance of 66% and sheetresistance of 16.5 Ω/□ were achieved, which is significantly improved compared with the Al layer without top andbottom ZnO layers showing a maximum transmitance of 44.3% and sheet resistance of 44 Ω/□.

#Transparent electrode #Anti-Reflection #Sputtering #Thin films

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Jinhwan Lee / 2012 / Very long Ag nanowire synthesis and its application in a highly transparent, conductive and flexible metal electrode touch panel / Nanoscale 4(20):6408

Junbo Wu / 2008 / Organic solar cells with solution-processed graphene transparent electrodes / Applied Physics Letters 92(26):263302

David S. Hecht / 2009 / Carbon-nanotube film on plastic as transparent electrode for resistive touch screens / Journal of the Society for Information Display 17(11):941

Jungheum Yun / 2017 / Ultrathin Metal films for Transparent Electrodes of Flexible Optoelectronic Devices / Advanced Functional Materials 27(18):1606641

Guoqing Zhao / 2015 / Stable ultrathin partially oxidized copper film electrode for highly efficient flexible solar cells / Nature Communications 6(1)

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