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학술저널
저자정보
장성근 (청운대학교) 김윤장 (청운대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제10호
발행연도
2017.10
수록면
646 - 650 (5page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.10.646

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화학 용액 증착법으로 순수한 BiFeO3 (BFO) 박막과 Bi0.9Nd0.1Fe0.975V0.025O3+α(BNFVO), Bi0.9Tb0.1Fe0.975V0.025O3+α (BTFVO) 박막을 Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100) 기판 위에 증착하였다. Nd, Tb와 V을 동시 도핑된 BNFVO 박막과 BTFVO 박막의 전기적 특성이 순수한 BFO 박막에 비해서 크게 향상되었다. BNFVO 박막에 최대 전압 910 kV/cm를 인가하였을 때, 1 kHz에서 측정된 잔류 분극(2Pr)과 항전기장(2Ec)은 37 μC/cm2, 748 kV/cm 이었고, BTFVO 박막에 최대 전압 950 kV/cm를 인가하였을 때, 잔류 분극(2Pr)과 항전기장(2Ec)은 ?65μC/cm2, 537 kV/cm 였다. 또한 순수한 BFO 박막과 BNFVO, BTFVO 박막의 누설 전류밀도는 인가된 전기장이 100 kV/cm 일 때 1.58 x 10?3 A/cm2, 2.75 x 10?7 A/cm2, 그리고 2.03 x 10?5 A/cm2을 각각 보였다. BNFVO 박막의 경우 순수한 BFO 박막보다 4승 작은 양호한 특성을 보였다.?Nd, Tb 그리고 V이 동시 도핑된 BNFVO 박막과 BTFVO 박막의 구조 변화에 의해서 그레인 크기와 균일성이 순수한 BFO 빅막에 비해서 개선되었다

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