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학술저널
저자정보
박재순 (한밭대학교) 김성일 (한밭대학교 전자제어공학과) 김응보 (한밭대학교) 강영환 (한밭대학교) 조성환 (한밭대학교) 정연호 (한밭대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제7호
발행연도
2017.7
수록면
407 - 412 (6page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.7.407

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본 논문에서는 인체 삽입형 의료기기의 유해성분과 생체 조직의 물리적, 화학적 완전분리를 위해 무선통신 및 무선충전이 용이하며, 인체 조직과 접촉해도 물리적·화학적 반응이 발생하지 않는 생체 적합성 소재인 quartz를 이용한 의료기기 패키징을 개발에 대한 것이다. 패키징의 밀폐성을 평가하기 위해 패키징 내부에 micro-electro-mechanical system (MEMS) 공정을 이용하여 제작된 압력센서와 외부 신호 측정 리더기가 무선으로 통신 가능한 압력센서 시스템을 내장하여 외부 압력변화에 따른 패키징 내부의 압력변화를 측정하였다. 패키징은 압력측정 시스템의 크기를 고려하여 폭 6 cm × 길이 10 cm × 높이 3 cm로 제작되었으며, CO2 레이저 가공을 통해 최종 완성되었다. 제작된 패키징의 밀폐성 평가를 위해 미세 압력조절기와 압력챔버로 구성된 성능평가 시스템을 자체적으로 구성하였으며, 실험은 인체 내에서 발생할 수 있는 압력을 고려하여 대기압과 900 mmHg의 높은 공기압의 환경에서 실시되었다. 그 결과 패키징은 대기압과 900 mmHg의 공기압에서 모두 동일한 count 값 (sensor1 - 25500, sensor2 - 26000, sensor3 ? 20800)을 나타냈으며, 이를 통해 패키징의 내부 압력환경이 인체에서 외부 압력변화에 영향을 받지 않는 완전밀폐 되었음을 확인할 수 있었다.
#Hermetic packaging #Pressure sensor #MEMS #Quartz #Wireless

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참고문헌 (5)

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명승재 / 2010 / 변비의 진단: 체계적인 문헌고찰 / 대한소화기학회지 55(5):316~324 google schola S. I. Kim / 2015 / Development of Implantable Pressure Sensor Using MEMS Process and Quartz Wafer Direct Bonding google schola M. A. Fonseca / 2007 / Polymer/Ceramic Wireless MEMS Pressure Sensors for Harsh Environment / Georgia Institute of Technology :6~12 google schola Siemens / MSDS (ProC global) google schola 김진태 / 2013 / 실시간 맥박 및 혈압 측정을 위한 폴리머 기판 압력센서 개발 / 전기전자재료학회논문지 26(9):669~676 dbpia

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