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이민선 (한국세라믹기술원 전자소재부품센터) 김창일 (한국세라믹기술원) 윤지선 (한국세라믹기술원) 박운익 (한국세라믹기술원) 홍연우 (한국세라믹기술원) 백종후 (한국세라믹기술원) 조정호 (한국세라믹기술원) 박용호 (부산대학교) 장용호 ((주)센불) 최범진 (㈜센불 기술연구소) 정영훈 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제5호
발행연도
2017.5
수록면
263 - 269 (7page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.5.263

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본 연구에서는 3-3 진동모드 압전 캔틸레버 에너지 하베스터를 제조하였고, 팁 매스와 부하저항의 변화에 따른 전기적 특성을 평가하였다. Ag IDT 전극이 프린트된 압전 적층체의 제조를 위해 520 pC/N의 높은 압전 변위상수를 가지는 상용 압전 PZT 를 이용하였다. 3-3 진동모드 압전 캔틸레버 에너지 하베스터는 850도에서 2시간 소결한 압전 적층체를 SUS304 재질의 탄성 기판에 부착하여 제조하였다. 2.3 g의 팁 매스를 부착하여 50 Hz, 200 KΩ, 3 G에서 4.7 mW의 상당한 출력 전력을 얻었다. 이는 6.9 mW/cm3의 전력 밀도로 환산되며, normalized power factor는 약 0.77 mW/g2·cm3으로 변환 가능하다. 이러한 우수한 전력 출력 특성은 3-3 모드 압전 캔틸레버 에너지 하베스터의 응용 가능성이 높음을 의미한다.

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