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소프트계 상용 PZT 압전 소재를 이용한 압전 세라믹 후막 필름을 테잎 캐스팅 제조법을 활용하여 제조하였다. 25 마이크로미터 두께의 제조한 압전 후막 필름 표면에 Ag-Pd을 이용한 IDT 전극 패턴을 프린팅 공정으로 상온에서 인쇄하였다. 그런 후, 10층의 IDT 패턴이 인쇄된 압전 후막 시트를 1,100℃와 1,150℃에서 각각 동시 소성하였다. 이를 이용하여 3-3 모드 진동 구현이 가능한 IDT 전극 패턴 임베디드 압전 에너지 하베스터를 캔틸레버 형으로 제작하였다. 120 Hz, 1 g의 가진 조건에서 10 kΩ에서 200 kΩ까지 부하 저항을 변화시키면서 제조한 에너지 하베스터의 성능을 평가하였다. 부하 저항의 증가에 따라 전압은 포물선 형태로 증가하였으며 전류는 선형적으로 감소하는 경향을 나타내었으며, 1,150℃에서 동시 소성한 압전 라미네이트를 이용하여 제조한 에너지 하베스터의 경우 100 kΩ에서 3.64 mW의 높은 출력전력 특성을 나타내었다.

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