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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.1
- 수록면
- 32 - 36 (5page)
- DOI
- http://dx.doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.1.32
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YBCO coated conductor의 Ag 층은 YBCO층을 보호하고, 동시에 YBCO CC의 전기적 특성을 변화시킨다. 따라서 상용화된 YBCO CC의 Ag 박막 층을 간편하게 증착하는 공정을 확립한다면, YBCO CC의 다양한 특성 변화를 가져올 수 있다. 본 논문에서는 YBCO CC의 Ag 박막 층을 보다 간편하게 증착하기 위해 플라즈마 표면처리를 실시하고 증착 공정을 진행하였다. 시험결과로부터 표면 거칠기 상승은 0분에서 20분까지 플라즈마 표면처리를 실시한 경우 증가하는 경향이 나타나며, 이후 감소하는 경향을 보인다. 또한 증착 후 퇴적량 증가와 들뜬 현상 감소 역시 표면 거칠기 상승시간과 동일한 경향을 보인다.
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M. W. Park / 2002 / World of Eletricity 51:25
T. Watanabe / 2003 / Progress and future prospects of research and development on coated conductors in japan / IEEE Transactions on Appiled Superconductivity 13(2):2445~2451
C. Park / 2007 / World of Eletricity 56:25
박성철 / 2007 / Ar+ RF 플라즈마 처리조건이 임베디드 PCB내 전극 Cu박막과 ALD Al2O3박막 사이의 계면파괴에너지에 미치는 영향 / 마이크로전자 및 패키징학회지 14(1):61~68
Atsushi Ishiyama / 2007 / A Criterion for Determining Stabilizer Thickness of YBCO Coated Conductors Based on Coil Protection / IEEE Transactions on Applied Superconductivity 17(2):2430~2433
T. Watanabe / 2003 / Progress and future prospects of research and development on coated conductors in japan / IEEE Transactions on Appiled Superconductivity 13(2):2445~2451
C. Park / 2007 / World of Eletricity 56:25
박성철 / 2007 / Ar+ RF 플라즈마 처리조건이 임베디드 PCB내 전극 Cu박막과 ALD Al2O3박막 사이의 계면파괴에너지에 미치는 영향 / 마이크로전자 및 패키징학회지 14(1):61~68
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