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저자정보
정동건 (한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹) 정대웅 (한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹) 이준엽 (한국생산기술연구원) 권진범 (한국생산기술연구원) 맹보희 (한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹) 김영삼 (한국생산기술연구원) 양이준 (한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹)
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제31권 제5호
발행연도
2022.9
수록면
348 - 352 (5page)

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Hydrogen gas (H2) which is odorless, colorless is attracting attention as a renewable energy source in varions applications but its leakage can lead to disastrous disasters, such as inflammable, explosive, and narcotic disasters at high concentrations. Therefore, it is necessary to develop H2 gas sensor with high performance. In this paper, we confirmed that H2 gas detection ability of SnO2 based H2 gas sensor along with thermal treatment effect of SnO2. Proposed SnO2 based H2 gas sensor is fabricated by MEMS technologies such as photolithgraphy, sputtering and lift-off process, etc. Deposited SnO2 thin films are thermally treated in various thermal treatement temperature in range of 500–900oC and their H2 gas detection ability is estimatied by measuring output current of H2 gas sensor. Based on experimental results, fabricated H2 gas sensor with SnO2 thin film which is thermally treated at 700oC has a superior H2 gas detection ability, and it can be expected to utilize at the practical applications.
#Gas sensors #Semiconductor metal oxide #SnO2 #Hydrogen gas #Thermal treatment

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