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임정은 (경상국립대학교) 박병준 (경상국립대학교 나노신소재융합공학과 그린에너지융합연구소) 이삼행 (한국세라믹기술원) 이명규 (경상국립대학교 나노신소재융합공학과 그린에너지융합연구소) 박주석 (한국세라믹기술원) 김병철 (경상국립대학교) 김영곤 (조선이공대학교) 이성갑 (경상국립대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제35권 제5호
발행연도
2022.9
수록면
499 - 503 (5page)

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La0.7Sr0.3MnO3 precursor solution were prepared by a sol-gel method. La0.7Sr0.3MnO3 thin films were fabricated by a spin-coating method on a Pt/Ti/SiO2/Si substrate. Structural and electrical properties with the variation of sintering temperature were measured. All specimens exhibited a polycrystalline orthorhombic crystal structure, and the average thickness of the specimens coated 6 times decreased from about 427 nm to 383 nm as the sintering temperature increased from 740℃ to 830℃. Electrical resistance decreased as the sintering temperature increased. In the La0.7Sr0.3MnO3 thin films sintered at 830℃, electrical resistivity, TCR, B-value, and activation energy were 0.0374 mΩ?cm, 0.316%/℃, 296 K and 0.023 eV, respectively.

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