TRNSYS를 이용한 반도체 클린룸 전용 외조기의 연간 에너지 사용량 분석

정우현; 송두삼

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정우현 (성균관대학교) 송두삼 (성균관대학교)

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 동계학술발표대회 논문집

발행연도: 2022.11

수록면: 37 - 40 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2023

반도체 클린룸 연간 에너지 절감을 위한 외조기 구성의 제안 및 효과 분석

정우현 , 송두삼 설비공학논문집 2023.04 학술저널

2022

TRNSYS를 이용한 반도체 클린룸 전용 외조기의 연간 에너지 사용량 분석

정우현 , 송두삼 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.11 학술대회자료

반도체 클린룸 전용 외기조화기의 연간 에너지 사용량 분석 및 개선 방안 연구

정우현 , 송두삼 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.06 학술대회자료

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본 연구는 TRNSYS를 이용하여 반도체 클린룸 전용 외조기의 연간 에너지 사용량 분석하였다. 분석 대상 외조기는 대형 클린룸에 많이 사용하고 있는 증기가습과 WSS 단열가습이 혼합된 조건의 외조기로 4개의 가열코일과 2개의 냉각/제습코일, 2개의 가습 장치로 구성되어 있다. 외기조건은 21년 수원지역 온습도 데이터를 사용하였다. 최종 공급 조건은 건구온도 14℃, 절대습도 0.00733kg/kg’의 공기를 클린룸에 공급하는 조건이고, 공급 풍량은 2,000CMM으로 선정하였다. 외조기 내부의 코일 및 가습장치의 에너지 사용량을 1차로 분석하고, 외조기 운영을 위한 냉동기, 보일러, Fan, 펌프 등 부대설비의 에너지 사용량으로 환산하여 전체 에너지 사용량을 집계하였다. 분석결과 냉동기 에너지 사용량은 46.6%로 가장 많았고, FAN 에너지 사용량 29.9%, 보일러 에너지 사용량 19.7%, 펌프 에너지 사용량 6.8%로 분석되었다. 분석결과를 바탕으로 외조기의 내부 구성 변경 및 열원 변경을 통한 에너지 절감 가능성 등 수치적인 비교가 가능할 것으로 판단된다.

#Clean Room(클린룸) #Out Air-Conditioner (외조기) #Energy Consumption(에너지 사용량) #Steam Humidification(증기가습) #WSS(Water Showering System, 순환수 단열가습) #TRNSYS

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주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 TOP 5% 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 10%

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