Development of the Ion Implantation system for compact linear accelerator using 28 GHz SC-ECRIS at KBSI

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저자정보: 홍종기 (한국기초과학지원연구원) 박진용 (한국기초과학지원연구원) 김성준 (한국기초과학지원연구원) 옥정우 (한국기초과학지원연구원) 이태규 (한국기초과학지원연구원) 윤장희 (한국기초과학지원연구원)

이용수

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#Ion implantation #ECRIS #Ion beam diagnostic system

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-581-000185011

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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