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Wonchul Lee (Korea Basic Science Institute) Jonggi hong (Korea Basic Science Institute) Seong Jun Kim (Korea Basic Science Institute) Jung-Woo Ok (Korea Basic Science Institute) Jin Yong Park (Korea Basic Science Institute) Jang-Hee Yoon (Korea Basic Science Institute)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
166 - 166 (1page)

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한국기초과학지원연구원 부산센터에서는 소형 중이온가속기 기반의 28 GHz 전자 맴돌이 공명 이온원(ECRIS)을 개발하였고 이를 이용하여 다양한 중이온 빔을 안정적으로 인출하였다. Gyrotron에서 발생시킨 마이크로웨이브를 28GHz 전자맴돌이 공명 이온원 전용으로 설계된 초전도 자석과 챔버에 가스를 주입하여 플라즈마 챔버에서 ... 전체 초록 보기

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