An Evaluation Model for Analyzing the Overlay Error of Computer-generated Holograms

Zihao Gan; Xiaoqiang Peng; Huajie Hong

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자료유형: 학술저널

저자정보: Zihao Gan (National University of Defense Technology) Xiaoqiang Peng (National University of Defense Technology) Huajie Hong (National University of Defense Technology)

저널정보: 한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.4 No.4

발행연도: 2020.8

수록면: 277 - 285 (9page)

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Computer-generated holograms (CGH) are the core devices to solve the problem of freeform surface measurement. In view of the overlay error introduced in the manufacturing process of CGH, this paper proposes an evaluation model for analyzing the overlay error of CGH. The detection method of extracting CGH profile information by an ultra-depth of field micro-measurement system is presented. Furthermore, based on the detection method and technical scheme, the effect of overlay error on the wavefront accuracy of CGH can be evaluated.

#Computer-generated holograms #Overlay error #Evaluation model #Wavefront accuracy

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K. P. Thompson / 2012 / Freeform optical surfaces : a revolution in imaging optical design / Opt. Photon. News 23:30~35

Z. Feng / 2015 / Creating unconventional geometric beams with large depth of field using double freeform-surface optics / Appl. Opt 54:6277~6281

P. J. Smilie / 2011 / Variable-diameter refractive beam shaping with freeform optical surfaces / Opt. Lett 36:4170~4172

Y. Xie / 2020 / Optical design and fabrication of an all-aluminum unobscured two-mirror freeform imaging telescope / Appl. Opt 59:833~840

Z. Pang / 2016 / Design and fabrication of CGH for 600 mm diameter SiC primary mirror surface figure testing / Proc. SPIE 9684:96842J

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Zihao Gan

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Xiaoqiang Peng

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Huajie Hong

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