메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Hee Kyung Ahn (Korea Research Institute of Standards and Science) Byong Hyuk Chon (Korea Research Institute of Standards and Science)
저널정보
한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.5 No.1
발행연도
2021.2
수록면
40 - 44 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In this paper, LED arrays with segmented mirrors and a mask are presented as a new dark-field illuminator for reflective Fourier ptychographic microscopy (FPM). The illuminator can overcome the limitations of the size and the position of samples that the dark-field illuminator using a parabolic mirror has had. The new concept was demonstrated by measuring a USAF 1951 target, and it resolved a pattern in group 10 element 6 (274 nm) in the USAF target. The new design of the dark-field illuminator can enhance competitiveness of the reflective FPM as a versatile measurement method in industry.

목차

Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. METHODS
Ⅲ. RESULTS
Ⅳ. DISCUSSION
Ⅴ. CONCLUSION
REFERENCES

참고문헌 (20)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0