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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국광학회 Current Optics and Photonics Current Optics and Photonics Vol.1 No.6
발행연도
2017.12
수록면
618 - 625 (8page)

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In the present research, a new bending system using a segmented vacuum chuck for Stressed MirrorPolishing (SMP) is developed. SMP is a special fabrication method for thin aspheric mirrors, where simpleflat or spherical fabrication is applied while a mirror blank is deflected. Since a mirror blank is usuallyglued to a bending fixture in the conventional SMP process, there are drawbacks such as long curingtime, inconvenience of mirror replacement, risk of mirror breakage, and stress concentration near the gluedarea. To resolve the drawbacks, a new bending system is designed to effectively hold a mirror blank byvacuum. For the developed bending system, the optimal bending load to achieve the designated mirrordeflection is found by finite element analysis and an optimization algorithm. With the measurement resultsof the deflected mirror surfaces with the optimal bending loads, the feasibility of the developed bendingsystem is investigated. As a result, it is shown that the bending system is appropriate for the SMP process.

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-425-000230694