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Al₂O₃ interlayer 도입을 통한 MoOX박막 패시베이션특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .05
원자층 증착법으로 증착한 HfAlO 박막의 패시베이션 특성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .04
열처리 조건에 따른 TiO₂ 박막의 패시베이션 특성 변화
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .10
PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .04
고효율 결정질 실리콘 태양전지 효율향상을 위한 MoOx 박막의 패시베이션 특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2020 .10
결정질 실리콘 태양전지 적용을 위한 ALD-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 패시베이션 막의 산화질화막 적층 특성
한국재료학회지
2015 .01
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
원자층 증착법으로 형성된 Al2O3 박막의 질소 도핑에 따른실리콘 표면의 부동화 특성 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2015 .01
태양전지의 증착 온도 조건 가변에 따른 SiN 층의 passivation과 접촉 저항의 특성 분석
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
1st Passivation 구성 물질 및 Asymmetric Passivation 구조 적용에 따른 AlGaN/GaN HEMT 소자의 차단주파수 및 항복전압 동작 특성 향상에 관한 시뮬레이션 연구
대한전자공학회 학술대회
2024 .06
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
결정질 실리콘 태양전지를 위한 PA-ALD Al₂O₃ 막의 신뢰성 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2015 .03
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
황화 암모늄을 이용한 Al2O3/HfO2 다층 게이트 절연막 트랜지스터 전기적 및 계면적 특성 향상 연구
센서학회지
2020 .01
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
Enhancing Passivation and Thermal Stability of an AlOx Passivation Layer in Crystalline Silicon Solar Cells
AFORE
2023 .11
MoO3 박막을 이용한 전하선택접촉과 패시베이션의 적용
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
Surface Passivation Schemes for High-Efficiency c-Si Solar Cells - A Review
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
결정질 실리콘 태양전지의 Al2O3/SiNX 패시베이션 특성 분석
Current Photovoltaic Research
2017 .06
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