광반응성 쿠마린기를 포함하는 수용성 포토레지스트 합성 및 포토리소그래피 평가

이수빈; 유정우; 최재학

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이수빈 (충남대학교) 유정우 (충남대학교) 최재학 (충남대학교)

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2022년도 추계학술대회 연구논문 초록집 제47권 제2호

발행연도: 2022.10

수록면: 105 - 105 (1page)

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