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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
정재훈 (한림대학교) 최지수 (한림대학교) 김용준 (한림대학교) 이종민 (한림대학교) 오진우 (부산대학교) 장문규 (한림대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제71권 제11호
발행연도
2021.11
수록면
970 - 975 (6page)

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Ligand를 이용하여 합성된 TiO₂ 나노 입자를 이용하여 Al-TiO₂-ITO 기판의 수직 구조를 가지는 RRAM 소자를 제작하였다. RRAM 소자의 절연막은 TiCl₄ 를 포함한 Ti 전구체와 2-(Methylamino) pyridine 등의 용액을 합성하여 제조하였다. 광 조사에 따른 RRAM의 특성을 확인하기 위하여 하부 전극인 ITO에 가시광선과 자외선 파장의 빛을 조사하고 I-V sweep을 진행하였다. 본 실험에 사용된 시료소자의 경우 가시광선 영역에서는 저항이 증가하고 자외선 영역에서는 저항이 감소하였다. 이를 통하여, 광 조사에 따른 저항 스위칭 거동의 경향성을 확인하였다. 본 연구에서는 파장, 광원파워, 조사시간을 조절하여 소자의 저항 변화 특성을 확인하였다. 각 파장에 따른 저항 변화는 소자의 온-오프 스위칭 역할을 나타내기 때문에, 제작된 소자는 뉴로모픽 소자 응용에 활용될 수 있다.

목차

I. 서론
II. 실험
III. 결과 및 논의
IV. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

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