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정창원 (한양대학교) 황종진 (한양대학교) 문승재 (한양대학교) 이종현 (밸류엔지니어링) 이호준 (부산대학교) 황준영 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2021년도 동계학술발표대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
673 - 676 (4page)

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2022

유도 결합 교류 주파수 플라즈마에서 이온 주입 장치 소스 헤드 열 해석
정창원 융합기계공 2022.01 학위논문

2021

유도 결합 플라즈마 이온 주입 장치 구조 열 전달 해석
정창원 ,  황종진 ,  문승재 외 3명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021.11 학술대회자료

초록· 키워드

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기존의 직류 플라즈마 이온주입장치에 유도결합 RF 플라즈마를 사용한 이온주입장치 구조의 열해석을 수행하였다. 세라믹튜브내에서 플라즈마로부터 발생되는 폐열을 통해 진공 상태의 챔버 내부에서 전도방정식에 복사경계조건을 적용하여 열전달을 해석하였으며, 적외선 열화상 측정 장비와 3차원 열해석 시뮬레이션을 사용하여, 두 값을 비교 분석하였다. 열화상 촬영이 가능한 Aperture, Aperture 커버의 온도 측정 데이터와 3차원 계산을 통한 결과값의 근사를 바탕으로, 공정가스가 최종적으로 분출되는 경로인 가스라인, 샤워헤드의 온도를 예측하기 위한 신뢰성 확보를 목적으로 한다.
#Inductively coupled plasma(유도 결합 플라즈마) #Ion implanter(이온 주입 장치) #Radiative heat transfer(복사열전달)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 해석 결과
4. 결론
References

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