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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.39 No.4
- 발행연도
- 2022.4
- 수록면
- 245 - 251 (7page)
- DOI
- 10.7736/JKSPE.022.009
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In this investigation, we propose a simple and effective lateral shearing interferometer based on a polarization grating. In the lateral shearing device, an incident beam is split into two beams by a polarization grating, and the returning beams can be laterally shifted after reflecting off a flat mirror and passing through the polarization grating again. These two beams are not only laterally shifted, but also their polarization states are orthogonal to each other as circular polarizations. With a single image obtained by a pixelated polarization CMOS camera, the proposed LSI can obtain the phase map corresponding to the x-sheared interferogram, and the other phase map can be calculated from another single image obtained by 90° rotation of the shearing device. Then, the original wavefront corresponding to the surface figure of the specimen can be reconstructed by wavefront reconstruction algorithms. In the experiments, various wavefronts generated by concave mirrors and a deformable mirror were measured and compared with those of a commercial Shack-Hartmann sensor.
목차
1. 서론
2. 편광 격자 기반 층밀림 간섭계
3. 실험 및 결과
4. 논의
5. 결론
REFERENCES
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
Pathak, B., Boruah, B. R., (2014), Improved wavefront reconstruction algorithm for shack-hartmann type wavefront sensors, Journal of Optics, 16(5), 055403. https://doi.org/10.1088/2040-8978/16/5/055403
Jiang, W., Li, H., (1990), Hartmann-Shack wavefront sensing and wavefront control algorithm, Adaptive Optics and Optical Structures, 1271, 82-93. https://doi.org/10.1117/12.20396
Deck, L., Groot, P. D., (1994), High-speed noncontact profiler based on scanning white-light interferometry, Applied Optics, 33(31), 7334-7338. https://doi.org/10.1364/AO.33.007334
Kinnstaetter, K., Lohmann, A. W., Schwider, J., Streibl, N., (1988), Accuracy of phase shifting interferometry, Applied Optics, 27(24), 5082-5089. https://doi.org/10.1364/AO.27.005082
Gu, L., Liu, L., Hu, S., Zeng, A., Huang, H., (2017), Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates, Optical Review, 24(4), 600-604. https://doi.org/10.1007/s10043-017-0351-x
Jiang, W., Li, H., (1990), Hartmann-Shack wavefront sensing and wavefront control algorithm, Adaptive Optics and Optical Structures, 1271, 82-93. https://doi.org/10.1117/12.20396
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