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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.3
- 수록면
- 241 - 247 (7page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2022.46.3.241
이용수
초록· 키워드
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본 연구에서는 레이저로 여기된 표면파의 전파거동을 이용하여 박막의 탄성계수를 평가하는 측정시스템을 구축하였다. 나노초 펄스 레이저 광을 박막의 표면에 집속시킴으로써 국소적으로 가열된 지점에서 표면파를 생성하였으며, 레이저 간섭계를 사용하여 표면변위를 측정함으로써 시간영역 파형 신호를 얻었다. 실험 결과로부터 탄성계수를 도출하기 위하여 전달행렬법을 이용해 분산곡선을 계산하고 곡선맞춤 하였다. 1.0 μm 두께의 티타늄 박막에 대하여 나노압입시험과 비교검증을 한 결과 6.3% 오차범위 내에서 탄성계수 값이 일치하는 것을 확인하였다. 또한, 박막의 두께가 240 nm로 줄어들었을 때에 탄성계수는 단지 2.7% 증가하여 크기효과는 미미함을 확인하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 이론 및 해석
4. 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
Hess, P., 1996, “Laser Diagnostics of Mechanical and Elastic Properties of Silicon and Carbon Films,” Applied Surface Sciences, Vol. 106, pp. 429~437.
Murray, T. W., Krishnaswamy, S. and Achenbach, J. D., 1999, “Laser Generation of Ultrasound in Films and Coatings,” Applied Physics Letters, Vol. 74, No. 12, Article 3561.
Hurley, D. C., Tewary, V. K. and Richards, A. J., 2001, “Surface Acoustic Wave Methods to Determine the Anisotropic Elastic Properties of Thin Films,” Measurement Science and Technology, Vol. 12, No. 9, pp. 1486~1494.
Balogun, O. and Murray, T. W., 2011, “Frequency Domain Photoacoustics Using Intensitymodulated Laser Sources,” Nondestructive Testing and Evaluation, Vol. 26, No. 3-4, pp. 335~351.
Jhang, K., Park, J. and Kim, K., 1999, “Analysis of the Characteristics of Laser-generated Ultrasonic Waves Detected by PZT Transducer,” Trans. Korean Soc. Mech. Eng. A, Vol. 23, No. 9, pp. 1590~1597.
Murray, T. W., Krishnaswamy, S. and Achenbach, J. D., 1999, “Laser Generation of Ultrasound in Films and Coatings,” Applied Physics Letters, Vol. 74, No. 12, Article 3561.
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