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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
최보은 (한국생산기술연구원) 김용환 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 추계학술대회
발행연도
2021.12
수록면
165 - 165 (1page)

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오스테나이트계 스테인리스강은 기계 부품으로부터 식품가공, 위생, 의료기기 산업에 이르기까지 내식성 소재로 폭넓게 활용되고 있다. 이러한 스테인리스 소재 부품에는 별도의 부동태 처리가 적용되는 경우들이 있는데, 이는 고유의 자연 산화막 또는 부동태와 비교해 높은 크롬 및 크롬산화물의 농도를 갖는 표면 상태를 인위적으로 조장하기 위함이다. 한편, 반도체 설비 및 계장용 분야에서 표면조도를 낮추고 청정성을 확보하기 위한 전해연마처리에 의해서도 일정 수준 내식성 향상을 기대할 수 있다. 그러나, 전해연마에 의한 산화막 형성 등 표면 상태가 별도의 부동태처리와 비교해 어떠한 차이가 있는지 세밀한 연구는 아직 불충분한 상태이다. 본 연구에서는 전해연마 후 추가적인 부동태처리 유무에 따른 표면 피막의 화학적 변화 등을 SEMI 기준에 따라 오제전자분광법(AES) 및 형광X선분광법(XPS)을 통해 분석 및 고찰하였다. 분석결과 전해연마하지 않은 상태에서 10% citric acid, 50℃, 10분 조건으로 부동태처리를 실시한 경우, 1.9nm의 산화막 두께로 부동태 처리하지 ... 전체 초록 보기

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