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한승 (과학기술연합대학원대학교) 윤민아 (과학기술연합대학원대학교) 김찬 (한국기계연구원) 김재현 (과학기술연합대학원대학교) 김광섭 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
발행연도
2021.10
수록면
208 - 209 (2page)

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Micro-Light Emitting Diode(LED) display는 Liquid crystal Display(LCD)와 Organic Light Emitting Diodes(OLED)에 비해 고 해상도, 저 소비전력, 고 휘도, 빠른 응답속도와 높은 신뢰성으로 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다. 하지만 아직 상용화가 이뤄지지 않았는데, 가장 큰 이유는 제조공정에서의 수율이 낮아 기존 디스플레이 대비 시간과 비용이 많이 들기 때문이다. Micro-LED 디스플레이는 에피 소재 성장, 칩 제조, 분리, 대량 전사, 리플로우 순으로 공정이 진행된다. 이때 에피 소재 성장 단계에서 사파이어와 GaN 사이 결정격자 간의 부정합에서 기인한 결함, 소재 간의 다른 열팽창률에 따른 결함이 발생할 수 있고, 대량 전사 공정에서 정렬 오차와 하중 오차로 인해 불량 LED가 발생할 수 있고, 마지막으로 리플로우 공정에서 급격한 온도 상승으로 전사된 LED의 정렬 오차가 발생할 ... 전체 초록 보기

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