지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.10
- 수록면
- 122 - 123 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
사면체 비정질 카본 (tetrahedral amorphous carbon, ta-C) 코팅 막의 기계적 물성은 자장여과아크플라즈마 (Filtered Cathodic Vacuum Arc, FCVA) 방식에 있어서 사용되는 주요 공정변수에 따라 제어가 가능하다.
대표적인 공정변수로는 (1) 기판 바이어스, (2) 공정온도 및 (3) 아크 방전전류 (Arc discharge current) 등이 있다. 특히, 아크 방전전류를 주요 변수로 사용할 경우 기판으로 입사되는 카본 이온의 플라즈마 flux 증가하게 되어 기판 온도 증가에 따른 ta-C 코팅 막의 기계적 물성 제어를 위한 주요 인자로 작용된다.
또한, ta-C 코팅 시 자장필터의 꺽임각도와 아크 방전전류의 세기 조정을 할 경우 카본 이온의 flux 변화와 코팅 막의 구조에 포함되는 Micro particle"s의 크기와 양을 조절할 수 있어 장시간 운전을 위한 시스템의 내구성 증대를 위한 효과적인 트라이볼로지 코팅 공정방법이 될 것으로 사료되었다.
따라서, 본 연구에서는 ta-C 코팅 막을 증착함에 있어 고정변수 (기판 바이어스 전압 : DC -75 V, 덕트 바이어스 전압 : + 15 V 및 상온 코팅조건)를 설정하고 실험의 주요 변수로 필터의 각도 변화 (45°, 90°타입의 FCVA 소스원) 및 아크 방전전류를 각각 50, 60, 80, 100 A로 설정하여 1 μm 두께를 가지는 ta-C 코팅 막을 제작하였다.
실험결과, 코팅 막의 경도 ... 전체 초록 보기
대표적인 공정변수로는 (1) 기판 바이어스, (2) 공정온도 및 (3) 아크 방전전류 (Arc discharge current) 등이 있다. 특히, 아크 방전전류를 주요 변수로 사용할 경우 기판으로 입사되는 카본 이온의 플라즈마 flux 증가하게 되어 기판 온도 증가에 따른 ta-C 코팅 막의 기계적 물성 제어를 위한 주요 인자로 작용된다.
또한, ta-C 코팅 시 자장필터의 꺽임각도와 아크 방전전류의 세기 조정을 할 경우 카본 이온의 flux 변화와 코팅 막의 구조에 포함되는 Micro particle"s의 크기와 양을 조절할 수 있어 장시간 운전을 위한 시스템의 내구성 증대를 위한 효과적인 트라이볼로지 코팅 공정방법이 될 것으로 사료되었다.
따라서, 본 연구에서는 ta-C 코팅 막을 증착함에 있어 고정변수 (기판 바이어스 전압 : DC -75 V, 덕트 바이어스 전압 : + 15 V 및 상온 코팅조건)를 설정하고 실험의 주요 변수로 필터의 각도 변화 (45°, 90°타입의 FCVA 소스원) 및 아크 방전전류를 각각 50, 60, 80, 100 A로 설정하여 1 μm 두께를 가지는 ta-C 코팅 막을 제작하였다.
실험결과, 코팅 막의 경도 ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
자장여과아크소스의 자장필터 꺾임 각도와 아크방전전류에 따라 증착된 ta-C 코팅의 마모 거동 연구
Tribology and Lubricants
2022 .06
-
자장여과아크플라즈마를 활용한 ta-C 후막 코팅 공정 시 Macro Particle 감소기법 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
-
하중지지력이 다른 소결 복합체 및 금속 모재 상 동종 사면체 비정질 카본 막의 건식 마모 거동
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
-
하이브리드 자장여과아크 시스템 이용한 Ti-doped ta-C 코팅의 트라이볼로지 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
-
적층 구조와 두께 비율 제어에 따른 사면체 비정질 카본 다층 코팅 막의 기계적 물성 변화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
-
자장 여과 진공 아크법으로 증착되는 수소 없는 DLC 막의 양산을 위한 코팅 공정 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
-
반도체 probe상 ta-C 코팅을 통한 내마모 특성 향상 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
-
산화된 사면체 비정질 탄소막의 열적 마찰·마모 열화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .04
-
DLC (ta-C) 후막코팅을 위한 트라이볼로지 코팅 연구
Tribology and Lubricants
2016 .08
-
Multi-layered ta-C thick coating deposited by FCVA to enhance wear resistance in sliding contact
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
-
ta-C 후막코팅을 이용한 비철금속가공용 절삭 공구류의 수명향상에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
-
Ta-10W 합금의 고온 마모 특성
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2024 .10
-
질소함량변화에 따른 ta-C:N 후막코팅의 트라이볼로지 특성연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
-
Ir-RE 코팅 대비 자장여과필터방식을 이용한 비구면 유리 렌즈용 초경합금(WC)표면의 ta-C 박막 코팅 성능 개선 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .12
-
FVAS 시스템을 이용한 기계적 및 전기적 특성이 우수한 ta-C 코팅막 형성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
-
질소도핑된 ta-C 코팅의 미소하중조건 트라이볼로지 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .04
-
Si 도핑된 사면체 비정질 카본 코팅의 열 안정성 및 고온 내구성 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .04
-
나노급 WS₂ 파우더 함유량 및 온도에 따른 ta-C박막의 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .10
-
고온 어닐링을 통한 Si-taC 코팅의 열 분해 및 트라이볼로지 특성 개선
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
-
자장여과아크법으로 증착된 무수소 DLC코팅 기술 및 응용 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0