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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.4
- 수록면
- 55 - 55 (1page)
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2017
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수소를 포함하는 비정질 카본 (hydrogenated amorphous carbon, a-C:H)의 경우, 사용 온도 500 ℃ 이하에서 수소 손실에 따른 열분해와 코팅 막에서 취성이 발생하여 고온 환경으로의 적용에 있어 작동 온도가 제한된다. 이를 위해, 수소를 포함하지 않은 사면체 비정질 카본 (tetrahedral amorphous carbon, ta-C) 코팅이 대체 재료로 각광받고 있으나 sp<sup>3</sup> 분율과 경도가 높아 적용하는 코팅 막의 내열성과 내마모 특성은 우수하지만 상대 재료의 마모가 증가되는 단점이 있다. 이러한 문제해결과 고온에서의 작동 온도 증대를 위해, nitrogen, boron, silicon, fluorine 등 전이금속 (transition metal)을 포함 ... 전체 초록 보기
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